/사진=뉴시스
삼성전자는 29일 열린 3분기 실적 컨퍼런스콜에서 “EUV는 단순 설비 고려 생산 적용이 아니라 세정, 검사, 소재 관련 전반 에코 시스템 노하우를 내재화하는 것이 중요해서 ‘EUV 전담조직’을 운영해서 기술 측면 시너지 극대화하려 한다”고 밝혔다.

이어 “차별화된 에코시스템 만들기 위해 추가적 IP확보를 위해 소프트웨어, 화드웨어 등 확대하고 있다”며 “이를 통해 V1 a공정부터 본격적용해 원가 경쟁력을 확보하고 반도체 미세공정 확대를 돌파하겠다”고 덧붙였다.