지난 6일 삼성전자 천안사업장을 찾은 이재용 부회장(가운데) 모습. / 사진=삼성전자
지난 6일 삼성전자 천안사업장을 찾은 이재용 부회장(가운데) 모습. / 사진=삼성전자
박재근 한양대 교수(융합전자공학부)는 일본 언론인 ‘닛케이 아시안 리뷰’가 그의 말을 인용해 삼성전자가 벨기에로부터 포토레지스트 대체 조달 루트를 확보했다고 보도한 데 대해 “사실무근”이라고 밝혔다.

한국반도체디스플레이기술학회장을 맡고 있는 박 교수는 12일 본지에 메일을 통해 “지난 9일 닛케이로부터 전화로 인터뷰 요청을 받았으나 인터뷰를 정중히 거절했다”며 “닛케이와 직접 통화를 하지 않았음에도 닛케이는 제가 마치 인터뷰를 한 것처럼 내용을 보도하고 있다”고 반박했다.


이어 “학회 회장으로서가 아니라 전직 삼성 간부로서 저의 영문 이름도 틀리면서 인터뷰를 한 것처럼 나와있다”며 “인터뷰를 한 적이 없기 때문에 닛케이에서 보도한 내용은 제가 인터뷰를 한 것이 아님을 밝힌다”고 강조했다.

앞서 닛케이는 지난 10일 서울발 기사에서 박 교수의 말을 인용해 삼성전자가 반도체 소재인 포토 레지스트를 벨기에로부터 조달 중이라고 보도했다.


포토 레지스트는 최첨단 칩 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼에 회로 패턴을 저장하는 데 사용되는 소재로 앞서 일본 정부는 지난달 4일 포토 레지스트와 에칭가스(불화수소), 플루오린 폴리이미드 등 3개 품목의 한국 수출절차를 까다롭게 강화한 바 있다.

닛케이는 이와 관련 삼성전자가 벨기에로부터 6~10개월 단위 물량으로 구입하고 있다고 전했다. 또한 이 매체는 박 교수가 벨기에 기업의 이름을 밝히지 않았지만 해당 기업이 ‘EUV레지스트’일 것으로 추정했다.


이 회사는 일본 기업인 JSR와 벨기에 연구센터 IMEC가 2016년 설립한 합작법인으로 최대 주주는 JSR의 벨기에 자회사인 JSR마이크로다.

한편 박 교수는 “닛케이에 공식 항의 요청을 했다”며 해당 기사가 사실이 아님을 거듭 강조했다.